【招标公告】高真空计-滨州魏桥国科高等技术研究院-竞价公告(CBBZWQGK2024000013)

滨州魏桥国科高等技术研究院 - 竞价公告 (CBBZWQGK2024000013)
发布时间：2024-01-22 10:53:34 截止时间：2024-01-31 11:03:22
基本信息：
申购主题：高真空计
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付90%，留10%质保全。
送货时间：合同签订后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：山东省/滨州市/滨城区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

高真空计

1/台

无

无

本次招标需要采购1台高真空计，还需将该仪器安装在实验室的主设备上面。一、技术参数： 1、测量范围（空气，N2）：5×10-9-1000 mbar 2、测量范围（空气，N2）：3.8×10-9-760 Torr3、精度（N2）1×10-8-100毫巴：±30% 4、可重复性1×10-8-100毫巴：±5% 5、容许压力：≤10 bar（limited to inert gases） 6、容许温度： （1）运行（环境）：+5至+55℃ （2）贮存：-40至+65℃ （3）烘烤：150℃ （4）单丝温度（皮拉尼）：120 ℃ 7、电源电压 （1）真空计上：+15至+30 V（dc） （2）缆线最长的电源装置：+16至+30 V（dc） （3）波纹：≤ 1 V（p-p） 8、功耗：≤ 2 W 9、可连接的保险丝：≤ 1 AT 10、输出信号（测量信号） （1）电压范围：0至10.5 V （2）测量范围：+1.82至+8.6 V 11、错误信号 （1）无电源：＜0.5 （2）皮拉尼传感器，单丝断裂：＞9.5 12、输出电阻：2×10 Ω 13、最小负载电阻：10 kΩ 14、反应时间 （1）p＞10-6毫巴：＜10 ms （2）P=10-8毫巴：1000 ms 15、识别真空计：85，referenced to supply common 16、状态： （1）仅皮拉尼模式：0 V（low） （2）复合皮拉尼/冷阴极模式：15至30 V（high） （3）LED：LED green（high voltage on） 17、电缆长度：≤50（8×0.14 mm2） 18、运行电压：≤3.3kV 19、运行电流：≤500 μA 20、内部容积：20 cm3 二、设计需求 1、需将真空膜厚测量仪设计为反应性等离子源镀膜机（RPD）的一个高真空测量单元； 2、该真空膜厚测量仪的所有连接接口需与HCD450空心阴极设备标准接口兼容，结合HCD450配套的电气控制系统，对真空腔室本底真空，工艺前及工作压力，分子泵前级压力以及工艺完成时，腔室破空的压力进行闭环控制，满足HCD450空心阴极设备的工艺需求。

按行业标准提供服务